2019午夜福利不卡片在线_亚洲综合一区国产精品_精品国产sm全部网站_国产精品夜间视频香蕉_手机看片被窝午夜婷婷国产

ALD 原子層沉積原理通過在工藝循環(huán)周期內分步向真空腔內添加前驅體、實現對膜層厚度的精確控制。區(qū)別于普通CVD或PECVD原理，ALD可沉積超薄的、無針孔和顆粒的膜層，例如在3D結構上沉積幾個納米厚的薄膜，同時具有出色的均勻性和優(yōu)秀的保形比。